Научный семинар «Ионная бомбардировка мишеней и поверхностей роста при магнетронном синтезе оксидных слоев»
19 мая с 16:00 до 17:00 по московскому времени
Магнетронные методы синтеза нашли широкое распространение в научных исследованиях во многих областях в связи с широким распространением в индустриях высоких технологий. На сегодняшний день методы магнетронного распыления являются ключевыми в производстве дисплеев, тонкопленочных солнечных панелей, низкоэмиссионных покрытиях стекла, терморегулирующих, антистатических, антибликовых и иных покрытий. Стремительное развитие названных индустрий приводит к постановке новых сложных задач перед исследователями и разработчиками новых материалов и технологий.
Доклад посвящен анализу теоретических и технологических аспектов создания наноструктурированных функциональных покрытий для устройств прозрачной электроники, синтезируемых/эксплуатируемых в условиях воздействия ионных потоков и ионизирующих излучений. Рассмотрены передовые достижения в областях физики тонких пленок и ионно-плазменных технологий. В основу доклада положены материалы выполняемой диссертационной работы докладчика по теме «Ионная бомбардировка мишеней и поверхностей роста при магнетронном синтезе оксидных слоев».
Докладчик
Генералов Дмитрий Владимирович, аспирант Инженерной академии РУДН.