Научный семинар по технологиям оптоэлектроники и фотоники
15 февраля в 16:00 по московскому времени
Инженерная академия РУДН проводит научный семинар по технологиям оптоэлектроники и фотоники.
Тема доклада:
«МОС-гидридная эпитаксия в технологии полупроводниковых приборов»
МОС-гидридная эпитаксия — ведущий промышленный метод получения полупроводниковых гетероструктур для опто- и фотоэлектроники, лазерной и СВЧ-техники. В докладе кратко будут изложены физико-химические основы метода, и приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования. Также будут рассмотрены основные типы приборных гетероструктур, получаемых рассматриваемым методом, и их области применения, обсуждены возможности формирования наноструктур: квантовых ям, квантовых нитей и нитевидных кристаллов, квантовых точек. В конце доклада будут рассмотрены вопросы адаптации метода МОС-гидридной эпитаксии к получению ряда новых материалов электронной техники.
Докладчик:
Александр Анатольевич Мармалюк — д.т.н., профессор кафедры нанотехнологий и микросистемной техники инженерной академии РУДН.